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          2020OEM機械設計技術研討會云會議
          測試測量

          現代精密測控的“關鍵”

            2020年09月02日  

            受惠人工智能、5G和物聯網等新技術的迅速發展,半導體的需求近年不斷擴大,設備商也紛紛加大投入開發新機型以應對精密先進制程的嚴苛挑戰。

            雷尼紹光柵產品的多樣性和穩定性能是重要因素,規格也十分貼近市場需求,與華卓精科的產品定位十分匹配。

          華卓精科(中國)

            半導體制造核心裝備包括光刻機雙工件臺、晶圓級鍵合設備、激光退火先進設備和EFEM等。設計精密,無論對核心零件的規格或是測控穩定性都有極嚴謹的要求。這個領域多年被歐美日廠商壟斷,鮮有中國國內廠商有能力涉足其中。

            北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡稱華卓精科)是中國國內從事精密制程核心裝備的領先者,他們開發的半導體設備和運動平臺采用雷尼紹多款高性能光柵系統,是半導體設備實現國產化的重要一員。

          制程設備國產化

            華卓精科的產品主要面向半導體和精密制造業,包括整機和關鍵機械測控部件,其中精密運動平臺占整體營收約三分之二。

            目前華卓精科標準型號運動平臺最多配置7個運動軸,有龍門、雙驅、氣浮等系列,定位精度和重復精度分別達± 0.5 μm和 ± 0.1 μm。另外也因應客戶制程的要求提供客制化設計。

            平臺以直線電機驅動,配置雷尼紹TONiC系列等光柵系統,通過Ti接口輸出納米級分辨率訊號。除了半導體制程應用,平臺也設計用于顯示面板,玻璃切割,三維成像等等。其他整機產品也包括晶圓級鍵合設備、激光退火先進設備等整機設備,這些設備都是配置了雷尼紹的光柵系統。

                  雷尼紹TONiC系列高性能光柵系統

          溫度對柵尺整體性能的影響

            在溫度的影響下,設備許多部件的長度會因熱膨脹效應而發生變化,而柵尺也不例外。

            華卓精科采用的TONiC系列光柵系統大部份配置了RGSZ20S鋼帶柵尺系列,這款柵尺屬于“隨基體伸縮”柵尺,厚度僅0.1mm,意味著柵尺固定在基體上,在溫度變化時會跟隨基體膨脹或收縮。
            
            TONiC系列是雷尼紹一款高性能增量式光柵系統,可因應設備基體材料選配不同特性的柵尺。與Ti訊號細分接口配套使用時,在直線和旋轉應用中分辨率可達1nm.,而光柵工作速度在0.1μm分辨率時可達3.6m/s。

            由于安裝公差寬松,并且只需按下按鈕即可進行校準,使TONiC光柵系統的安裝變得快捷簡單。而TONiC的動態信號處理功能可提高信號穩定性,而且電子細分誤更低于±30 nm.。

            雷尼紹RGSZ20S柵尺——“隨基本伸縮”柵尺

          選用雷尼紹的原因

            半導體設備一直講求高度客制化和效率,設備商必須應對制程的嚴苛要求和快速的更新周期。華卓精科是目前中國國內半導體設備生產商的領先者,像晶圓級鍵合設備,國內目前僅華卓精科一家有開發相關產品。設備要求精準的定位精度和重復性以實現晶圓與晶圓之間的準確位置。

            華卓精科總經理孫國華先生說道:“企業除了本身需要有良好的技術基礎外,供貨商的配合也至關重要。光柵作為平臺和設備最關鍵的零部件之一,我們也是經過全面的評估后才選擇了雷尼紹,而且一直沿用至今。雷尼紹的服務反應總是很迅速,提供我們很多專業的意見,協助我們成功爭取不少客戶訂單。有一點令我印象非常深的是雷尼紹的培訓做得十分到位,非常有針對性。我們雙方已合作多年,關系密切,相信未來也會有更多合作的機會。"

          標簽:雷尼紹 Renishaw我要反饋
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